基本参数
X轴：0-220mm可选
Z轴：0-620mm可选
Z1轴：±620μm
Z1线性精度：≤±(5nm + 2.8%)
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特点
高性价比
宽范围无导头粗糙度传感器
可评价粗糙度、波纹度、轮廓度等数百项参数
测量功能
粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波纹度参数：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
原始轮廓参数：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
规格
X轴 100~220mm
测量范围 Z轴 Z1轴 320-620mm 土620卩 m/262144： 1
粗湖度参数: 线性精度 <±(5nm + 2.8%)
重复性6 18《lnm
截止波长 0.025、0.08、0.25、0.& 2S 8mm
评定长度 AcX2> 3、4、5、6、7
残值噪声 W0.005|im
驱动速度 X轴 0.05~15mm/s
Z轴 0.2-15mm/s
粗髓度 粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rzs Rz (jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、 Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、RAqs Rk、Rpk、Rvk、Mrh Mr2^ Rmr 波薄参数：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr 原始轮廓参数：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr