| 序号 | 故障现象 | 可能原因 | 排除方法 |
| 1 | 开始配气后无输出或输出偏小 | 标气或零气未连接 | 检查气路、气压和钢瓶阀门、减压阀 |
| 2 | 无法配气,此时主界面中流量阀显示值底色为红色,显示值为0 | 流量阀未通讯 | 检查流量阀供电和通讯连接 |
| 3 | 流量输出不稳定,有较大波动 | 气源气压不稳 | 检查气源减压阀的调节压力 |
| 4 | 流量阀显示值比设定值小很多 | 气压过低 | 检查气源压力 |
| 流量阀通道堵 | 查找堵塞点并反吹 | ||
| 5 | 停止配气仍有流量输出 | 阀件泄露 | 检查阀件 |
| 气源压力过大 | 调小压力 |
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