荧光光谱仪是较新型X射线荧光光谱仪，具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。能分析F(9)~U(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。薄膜分析软件能作镀层分析，薄膜分析。
荧光光谱仪维修的注意事项及要点
一、荧光光谱仪射线管的维护
1.避免碰撞
2.不能用手直接触摸铍窗，金属铍（Be）对X射线吸收性能很差，但铍窗很薄很脆，所以要小心维护，一旦铍窗被尘埃污染，可用软毛刷（羊毫毛笔）小心轻拂；若有油污等污物，可用脱脂棉蘸取有机溶剂如无水乙醇、三氯甲烷等小心轻拭。铍、氧化铍有毒，具有铍的垃圾不能乱扔，破铍窗要小心处理。
3.射线管的电源为高压电源，要注意防潮，以免漏电；电缆头上要抹上耐电压的绝缘油脂。
4.使用封闭式X射线管时，要注意通冷却水，但存放时一定要把管内的残留冷却水排尽，并保持温度高于-9℃。
5.检查射线管的老化和注意kV-mA的限制初用管，30天后用管都要绘制kV-时间曲线，检查管子是否老化；绘制kV-mA曲线，检查管子kV与mA的关系，找到大值，以便进行kV-mA限制。
二、荧光光谱仪分光晶体的维护与修复
1.恒温分光晶体对温度的变化较敏感，不同环境温度下，晶体面间距值的变化会引起谱线的位移，在实际工作中，要求晶体室温的变化在±0.5℃内。
2.防潮分光晶体很脆，金属盐类的晶体如NaCl、LiF，都具有潮解性，不用时应存放在干燥器中；常用的分光晶体也要定期检查，TAP晶体的表面容易产生“白浊”，这时不能使用了。