白光干涉显微镜采用了三重扫描方式
来源：明通甄选2025/7/14 15:49:0723
导读:
白光干涉显微镜采用了三重扫描方式，运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的细微粗糙度，
以及镜面体，透明体等。VK拥有应对多种样品的测量能力(从 1 nm 到 50 mm)，纳米/微米/毫米一台完成测量。
白光干涉显微镜1、Basic Characteristics
观察
从光学显微镜到SEM领域一台设备涵盖
42 至 28800 倍
无需对焦
适用于多种样品
测量
非接触瞬间扫描形状
不会损伤目标物
纳米级别也可准确测量
透明体和坡度大的目标物也可测量
分析
希望了解的表面“差异”一目了然
定量化微小形状
轻松比较多个样品
粗糙度分析
2、三重扫描方式解决“难以测量”的难题
可根据样品工件的材料、形状和测量范围，选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，进行高精度测量。
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