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机械真空泵系统中每台单泵和泵组间都设 有温度防护。每台泵的进气管路和排气管路都设 有温度传感器。当某级泵进气、排气管路温度在 正常值范围内时，泵组依据压力 - 频率曲线，改 变运行频率。

当监测出真空泵入口或出口温度超高报警值，系统认定为真空泵运行温度过高，发出报警 提示用户。系统将自检泵体冷却水流量、电机电 流负载、泵入口气体温度、泵出口气体温度。根据 故障点调用处理程序或故障解决方案至系统页 面。如入口温度值过高发生报警时，入口温升 - 降频曲线投入使用，限制泵组的运行频率，防止 泵体发生损伤。当排气管路温度过高时，出口温 升 - 降频曲线投入使用，逐渐降低泵组的运行频 率。当两路温度超过停机阈值时，该级泵组停止 并退出。温度降低后，泵组再次投入，重新参与系 统的抽真空处理。

如图 3 所示，三级泵管路温度为 71℃，已超 过设定报警温度 65℃，通过远程云端数据库判 断，自动调入温升 - 降频曲线，及时提醒用户采 取降频措施，防止损坏泵体。 如监测出冷却水流量小于报警值，将提醒用 户检查冷却水回路，如有必要调整调节阀。如监 测数据未出现异常，则推荐故障解决方案如表2。