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（1）预处理
有机废气可能会含有少量的粉尘，所以在废气进入活性炭吸附装置前还须进行预处理，否则会堵塞活性炭微孔，影响吸附效果。预处理设备为干式过滤器，分二级过滤（G4初效+F5中效)，具有容尘量大、阻力小等特点。
（2）活性炭吸附
经过前面的预处理后，废气通入活性炭吸附/脱附塔进行吸附处理。利用具有大比表面积的活性炭将有机溶剂吸附在活性炭表面，去除废气中的有机物，达到净化气体的作用，经处理后的洁净气体经过风机、烟囱高空排放。
（3）活性炭脱附阶段
当活性炭吸附饱和后，切换到脱附模式，启动脱附风机对该吸附床脱附。脱附风机引入的新鲜空气首先经过换热器和电加热室进行加热，将新鲜空气加热到接近70-80℃进入活性炭床，炭床受热后，活性炭吸附的溶剂被解吸脱附出来。
（4）催化燃烧阶段
脱附出来的废气流量小、浓度高，经风机送入到换热器，然后进入预热器，在电加热器的作用下，使气体温度提高到200-300℃左右，再进入催化燃烧床。有机气体在催化剂的作用下发生无焰燃烧，被氧化为CO2和H2O，同时放出大量的热，气体温度进一部升高，该高温气体再经过催化燃烧室前的换热器预热未经处理的有机气体；从换热器出来的气体再通过新风入口的换热器对脱附新鲜空气进行加热。两处换热器正常工作后，电加热设备可停止加热，节约能耗。终气体通过烟囱引高排放。