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X射线膜厚仪的日常维护 ，除了需要遵循一般电气设备的常规维护方法（例如 ：电气连接情况、主要电源电压的检查、各个开关的操作是否有效），这里主要讨论针对测厚仪的维护。

　　X射线膜厚仪的每天检查

　　1）循环水。循环水恒温设备主要给射线源提供相对恒定的温度环境。射线源的温度波动将直接导致射线能量的变化 ，致使测量结果波动。循环水温度一般设定在 20℃ ±1℃。注意检查循环水的回水流量、水温是否正常。检查回水流量要实际查看回水管出水口的水流情况 ，不能依据测厚仪没有水流报警就断定冷却水正常—水流开关总有损坏的时候（比如 ，锈蚀、因某种原因卡住了）。如果回水量明显减小了 ，应考虑水路是否有堵塞或漏水。为防止产生水垢堵塞、锈蚀管路 ，应使用纯净水灌装水箱。

　　2）压缩空气。压缩空气的用途主要是吹扫射线束内的杂物、油雾等 ，如果压力不足 ，会使吹扫效果下降 ，影响测量结果。还有的测厚仪使用气缸驱动标样和快门。点检设备时应检查空气压力是否符合设计要求 ，滤芯是否需要更换。

　　3）C 型架上告警灯的状态。告警灯的状态应正确 ，否则说明测厚仪存在某种故障。从安全的角度考虑 ，即使确认测厚仪没有功能上的故障 ，仅仅是灯泡损坏 ，也应及时更换 ，以防止意外的辐射伤害。

　　4）射线窗口和探头窗口。目视检查射线窗口和探头窗口 ，如有破损应及时更换窗口材料。轧制过程产生的油雾中含有粉状物（金属粉末、硅藻土粉末等），凝结在窗口上会产生油泥 ，相当于在射线束中插入了一层异物。油泥厚到一定程度 ，会使探头电压明显下降 ，影响测量精度 ，因此好每天擦拭这两个窗口 ，保持清洁。